自己換算 無(wú)塵室潔凈度分級

                                             自己換算 無(wú)塵室潔凈度分級

導體工業(yè)是精密的工業(yè)，當我們把計算機拆開(kāi)之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數百萬(wàn)顆甚至數千萬(wàn)顆的晶體管。為了讓這些小的晶體管妥善的工作，制造的過(guò)程必須在無(wú)塵室內進(jìn)行，集成電路制造的工廠(chǎng)動(dòng)輒需要數十億、數百億的投資，多因為需要一個(gè)無(wú)塵室。

　　 所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著(zhù)集成電路技術(shù)的快速成長(cháng)，也增加了對制造環(huán)境（無(wú)塵室）潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。

　　 由于奈米技術(shù)的興起，造成半導體關(guān)鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線(xiàn)時(shí)，就可能會(huì )使金屬導線(xiàn)形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線(xiàn)上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵室為集成電路制造*的要素。

　　 依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard （FS） 209E, 1992】，可將無(wú)塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無(wú)塵室的等級只用塵粒數目來(lái)敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5?m，例如，1級、10級、100級無(wú)塵室大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5?m，無(wú)塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來(lái)表示。例如：10級在0.2?m（塵粒尺寸在0.2?m或更大下，密度不大于75顆/立方英?），1級在0.1?m（塵粒尺寸在0.1?m或更大下，密度不大于35顆/立方英）。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。

　　 為保持無(wú)塵室的潔凈度，進(jìn)出的人員有一定的穿著(zhù)規定；10000與100000級，必須穿著(zhù)長(cháng)袍無(wú)塵衣、無(wú)塵鞋、帶帽子與面罩；1000級（含）以上，需穿著(zhù)特殊的潔凈連身衣、無(wú)塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩，下表為無(wú)塵室清潔度的

　　 定義：
　　 塵粒數／立方英
　　 級數 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
　　　　　 1 35 7.5 3 1 N/A
　　　　　 10 350 75 30 10 N/A
　　　　　 100 N/A 750 300 100 N/A
　　　　　 1000 N/A N/A N/A 1000 7
　　　　　 10000 N/A N/A N/A 10000 70
　　　　　 100000 N/A N/A N/A 100000 700