集成電路無(wú)塵車(chē)間設計施工要求

　　集成電路無(wú)塵車(chē)間是為了滿(mǎn)足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無(wú)塵車(chē)間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無(wú)塵車(chē)間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

　　根據潔凈室車(chē)間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類(lèi)型：循環(huán)空調機配合送風(fēng)口系統、循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統和FFU循環(huán)系統。

　　*種形式在小規模低等級要求的潔凈室車(chē)間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車(chē)間則存在運行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。

　　第二種形式的設計可以滿(mǎn)足集成電路制造無(wú)塵車(chē)間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。

　　第三種的FFU循環(huán)系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統升級和調整，這些都能很好地滿(mǎn)足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統逐漸成為主要的凈化設計方案。

　　FFU循環(huán)系統的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)過(guò)濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區為集成電路制造廠(chǎng)務(wù)設備區域，包括電力供應、氣體和化學(xué)品供應、純水供應等。

　　集成電路制造對無(wú)塵車(chē)間環(huán)境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下，而化學(xué)機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。

　　另外，集成電路制造潔凈廠(chǎng)房對噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規定和要求，尤其是振動(dòng)的控制，在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。

　　好的潔凈車(chē)間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)安全可靠的保證。在3種潔凈系統中，FFU循環(huán)系統運行成本低，潔凈度安全性高，因此集成電路潔凈廠(chǎng)房多采用FFU循環(huán)系統。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內是集成電路制造潔凈廠(chǎng)房的設計趨勢。

　　集成電路制造是高能耗的產(chǎn)業(yè)，而潔凈空調系統的能耗則占其中的30%以上，因此節能安全的潔凈室設計和各種熱能回收設計將是未來(lái)的發(fā)展方向。

　　隨著(zhù)集成電路制造技術(shù)的不斷升級，主流大廠(chǎng)已經(jīng)進(jìn)入了納米時(shí)代，集成電路制造潔凈廠(chǎng)房的設計建造和節能創(chuàng )新也需要不斷提升，為制程產(chǎn)品生產(chǎn)保障。

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